氧化鈰是極有效的拋光用化合物，因為它能用化學分解和機械摩擦二種形式同時拋光玻璃。在拋光過程中，氧化鈰拋光粉有兩種作用，即機械作用與膠體化學作用，這兩種作用是同時出現。所以氧化鈰拋光粉其具有切削力強、拋光時間短、使用壽命長、拋光精度高的優點。因此在工業制品拋光中獲得了廣泛的應用，如各種光學鏡頭玻璃、眼鏡片、平板玻璃、工藝玻璃、手機屏玻璃、半導體晶片和金屬精密制品等的拋光。